我们这边实力有限,所以最好还是寻求其他方面的帮助,q大那边有个光学研究小组,听说他们在研究的就是各种光源,如果可以的话,我们能够寻求他们的帮助。”
何景记得在若干年之后,q大光学研究所也研究出了极紫外光光源,这是很大的突破。
当然那个项目是在很久以后才开始的,所以一直到二十多年之后才成功,如果这一世能早一些开始的话,说不定几年之后便会成功了。光刻机的研究本就需要很长的时间,齐老他们规划的也是十年之内完成这项研究,所以不能太着急。
齐老闻言思考了起来,“你说的那个小组能力怎么样?你觉得他们大概需要多久能有突破?”
何景笑了下,无奈摇头,“这我就不知道了,毕竟我和那边也没有多少了解,只是大概知道有这个研究小组,我们可以先接触接触,或者在全球范围内找一找,大规模地寻求合作。或者直接召集光学方面的专家,过来这边研究。”
两种方式各有优劣,弄到研究所这边来的话,他们就比较有主导权,也能更方便进行实验,但自己管理的话,需要操心的东西就会多不少,还有便是会麻烦些。而且要召集那么些人过来,还需要研究那么长时间,也不一定那些人会愿意。
齐老点点头,并没有立马发表自己的看法,反而是看向了其他人。
“你们怎么看?”
“合作吧,专业的活还是要找专业的人干。”
“是啊,可以多放联系一下,如果有人正好在研究这个的话,那就好了。”
“嗯,还是要好好挑选下合作对象,毕竟实力还是十分重要的。”
“.....”
大部分人都倾向于合作,这样他们也能轻松不少。
齐老想了下,最终还是拍板合作这个方式了,“行,那就寻求外部合作吧,卢副,你尽快调查下合适的光学研究单位,看看那个单位对这个项目感兴趣。”
卢副所长立马点头答应,“好,我会尽快去办的。”
齐老满意点头,之后又看向其他人,“行吧,那我们继续说下面的问题。”
“何景,这次曝光的方式是怎么进行的?”
这个就是何景知道的了,赶忙道:“我们的单场曝光会采用动态扫描的方式,掩模板对着晶元同步进行扫描。”
“投影倍镜的倍率最好蛇追在4:1......”
“掩模台需要保持高速、高精确地同步运动.....”
何景解说非常详细,这是他比较了解的部分,所有人都专心地听着。
齐老面上露出十分满意的笑容,等何景说完他立马带头鼓起了掌,“不错,你这些日子没有白忙啊,你们尽快将东西制作出现,之后进
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